实验室隶属于精密测试技术及仪器国家重点实验室。实验室具备进口微纳机电系统工艺设备100余台/套，自主开发了近30套标准工艺流程，建立了具有国际先进水平的硅基微米纳米器件加工技术平台；同时建成有完备的材料合成、细胞培养及生物分子检测、传感器件界面修饰和表征等平台，是国内高校最先进、最完善的集设计、加工、封装、测试与应用开发于一体的 M/NEMS 基地之一。

实验室自2009年成立以来，始终聚焦应用于移动终端、物联网、虚拟现实、人工智能、可穿戴设备、航空航天、生命生物等领域的微纳传感器、执行器、微通讯器件等核心元件及系统的研发，承担国家、省部级、横向等各类项目多项。

实验室具有国际领先的研究实力，与多所国际著名高校（美国耶鲁大学、加州大学伯克利分校、英国剑桥大学、荷兰特温特大学、德国马普智能机器人研究所等）建立了长期合作关系，进行实验室合作研究和学生交流，每年选派优秀研究生赴海外进行联合培养。